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　　在研发体系上，中科仪构建基础技术、应用技术、测试技术三大平台：应用技术平台积累1500余项生产工艺数据、28项产品应用工艺，可快速为逻辑芯片、存储芯片等不同制程的各类客户匹配干式真空泵解决方案；测试技术平台搭建了线个专门实验室，形成专属测试标准与方法，能精准评价系统及关键零部件的性能与可靠性，保障产品稳定性和批量一致性。此外，为满足客户设备管理、成本控制等需求，公司自主研发故障诊断分析、控制互锁等技术，实现产品故障诊断、寿命预测及设备互锁保护，以此形成与国外竞品的差异化优势。

　　这些项目的实施，将进一步提升公司的生产能力、研发实力和市场竞争力。其中，干式真空泵产业化建设项目将新建智能化生产线万台干式真空泵的生产能力，有效缓解当前产能紧张的局面。高端半导体设备扩产及研发中心建设项目将购置先进研发设备，引进高端人才，提高公司在高端半导体设备领域的技术水平和生产能力，更好地服务于半导体设备自主化进程。新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目则将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组，项目完成后将丰富公司产品体系、增强产品优势，同时进一步拓展干泵产品的应用范围，拓宽市场发展空间。